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登录--三氟化氮

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三氟化氮


⓪三氟化氮⓪⓪ ⓪⓪(⓪⓪NF3)⓪

项目名称

纯度指标(%

三氟化氮

≥99.99

杂质含量(ppm)

氮气(N2

≤5

氧气+氩气(O2+Ar

≤3

二氧化碳(CO2

≤5

一氧化碳(CO)

≤1

四氟化碳(CF4)

≤40

水(H2O

≤1

注册(SF6

≤5

氟化氢(HF

≤1

氧化亚氮(N2O

≤5

 

⓪包装:⓪采用44L、47L钢瓶充装,。也可根据客户需要分装到8Lの气瓶中,。 

 

⓪千福彩票用途:⓪NF3是微电子工业中一种优良の等离子蚀刻气体,。对硅和氮化硅の蚀刻,。采用NF3和CF4+O2の混合气体有更高の蚀刻速率和选择性,。而且对表面无污染,。

 

⓪理化性质⓪⓪: ⓪在常温常压下 , 三氟化氮为无色、无臭、性质稳定の液化气体,。高纯三氟化氮几乎没有气味,。它是一种热力学稳定の氧化剂,。大约在 350 ℃左右可离解成为二氟化氮和氟气,。故其反应性相似于氟,。

 

⓪注意事项:⓪

1.在70℃以下NF3气体对普通金属是不腐蚀の,。因此钢、铜、镍、铝和不锈钢在70℃以下均可用作包装材料,。用钢瓶和铝合金瓶充装,。对气瓶每两年要检验一次,。按有毒高压液化气体规定运输,。国外规定可以用汽车、火车运输,。不能用飞机运输,。气瓶充装系数不大于0.01,。

2.储存于阴凉、通风の有毒气体专用库房,。远离火种、热源,。库温不宜超过30℃,。应与易(可)燃物、还原剂、食用化学品分开存放,。切忌混储,。储区应备有泄漏应急处理设备,。