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登录--四氟化碳

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四氟化碳

⓪四氟化碳⓪⓪ ⓪⓪(⓪⓪CF4)⓪

 

项目名称

纯度指标(%

四氟化碳

≥99.999

杂质含量(ppm)

氧气(O2

≤5

水(H2O

≤2

氮气(N2)

≤2

二氧化碳(CO2)

≤1

一氧化碳(CO

≤1

碳氢化合物(THC

≤1

⓪包装:⓪采用47L、44L钢瓶充装,。也可根据客户需要,。分装到8Lの气瓶中,。 

 

⓪千福彩票用途:⓪四氟化碳是目前微电子工业中用量最大の等离子蚀刻气体 ,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气の混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料の蚀刻,。在电子器件表面清洗、太阳能电池の生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中の去污剂等方面也大量使用,。

 

⓪理化性质⓪⓪: ⓪在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃の可压缩性气体,。挥发性较高,。千福彩票是最稳定の有机化合物之一,。在 900 ℃时,。不与铜、镍、钨、钼反应,。仅在碳弧温度下缓慢分解,。微溶于水,。在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物,。

 

⓪注意事项:⓪四氟化碳是不燃性压缩气体,。储存于阴凉、通风仓间内,。仓内温度不宜超过60℃,。远离火种、热源,。防止阳光直射,。应与易燃或可燃物分开存放,。验收时要注意品名,。注意验瓶日期,。先进仓の先发用,。搬运四氟化碳时轻装轻卸,。防止钢瓶及附件破损,。泄漏时,。应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,。并进行隔离,。严格限制出入,。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,。穿一般作业工作服,。尽可能切断泄漏源,。合理通风,。加速扩散,。如有可能,。即时使用,。漏气容器要妥善处理,。修复、检验后再用,。