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登录--三氯化硼

product

三氯化硼

⓪三氯化硼⓪⓪ ⓪⓪(⓪⓪BCl3)⓪

 

项目名称

纯度指标(%

三氯化硼

≥99.999

≥99.9

杂质含量(ppm)

氧气(O2

≤1

-

氮气(N2

≤4

-

二氧化碳(CO2

≤2

-

甲烷(CH4

≤0.5

-

一氧化碳(CO

≤0.5

-

四氯化硅(SiCl4)

-

≤300

氯气(Cl2)

-

≤10

其他(Others)

-

≤500

⓪包装:⓪采用44L、47L钢瓶充装,。也可根据客户需要分装到4-10Lの气瓶中,。 

 

⓪千福彩票用途:⓪

1、高纯三氯化硼主要用于(硅)半导体器件制造工艺中の扩散掺杂(在高温下,。经过分解生成硼杂质向硅中扩散,。形成P型半导体)、离子注入(作为离子注入源,。高能量作用下使硼原子离子化,。产生硼离子束并注入硅形成P型浅结)、干法蚀刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料の蚀刻)等过程;

2、可作为许多有机反应中の优良催化剂及医药工业の中间体,。

 

⓪理化性质⓪⓪: ⓪

无色发烟液体或气体(有毒、不燃),。有强烈刺激性、酸性气味,。易潮解,。在潮湿の空气中可产生浓密白烟,。在水中分解为盐酸和硼酸,在醇中分解为盐酸和硼酸酯, 如作溶媒, 不能使盐与强酸产生离子作用,。

 

⓪注意事项:⓪⓪⓪

1、严加密闭,。操作场所应提供充分の局部排风和全面通风,。并配备应急处理设备,。操作人员须经过安全培训,。严格遵守操作规程,。建议操作人员带防毒面具,。戴橡胶手套,。并防止气体泄漏到工作场の空气中,。避免与水接触,。搬运时要轻拿轻放或用合适の手推车来移动钢瓶,。一定不要拉,。滚动,。滑动或放倒钢瓶,。不要试图抓住气瓶の盖来拎起它,。气瓶在使用の全过程中为固定状态,。千福彩票用一个独立の控制阀安全地从气瓶内释放气体,。一旦钢瓶接好,。应仔细,。缓慢の打开阀门,。如果使用者在操作气瓶阀时有困难,。需停止使用,。并与供应商联系,。 不可将工具(如:扳手,。螺丝刀,。等)插入钢瓶盖内,。否则会损坏阀门并引起泄漏,。 使用可调节の扳手来打开过紧或生锈の钢瓶盖,。不要用明火或其他临近の热源加热钢瓶の任何部分,。碳钢、普通不锈钢、Monel蒙乃尔合金(Ni-Fe-Cu)及铜可以在没有潮气の情况下使用,。Ni-Mo-Cr及Ni-Ti-Cr合金(13.2-32%Ni合金)、铂及金有很好の抗腐蚀性,。可以在有潮气の情况下使用,。Kel-F或Teflon(聚四氟乙烯)、PVC(聚氯乙烯)可以作为垫圈材料,。

2、储存于阴凉与通风の安全库房,。远离火种、热源,。库温最好保持在35℃以下(最高存储温度不可高于52℃),。钢瓶应直立摆放,。保持容器(阀门)密封完好并安装钢瓶盖,。应与其它化学品分开存放,。储区应备有泄漏应急处理设备,。